设备维护保养资料大全

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第一部分：泵，阀
新柯隆扩散泵说明书.pdf
http://148477.site.jgz.la/file.php?accessoryId=832207
油回转泵E2M275维修保养资料.ppt
http://148477.site.jgz.la/file.php?accessoryId=832208
POLYCOLD説明.pptx
http://148477.site.jgz.la/file.php?accessoryId=832209
真空阀门气缸内部大修顺序（中文）.ppt
http://148477.site.jgz.la/file.php?accessoryId=832210
真空泵介绍（中文）.ppt
http://148477.site.jgz.la/file.php?accessoryId=832211
罗兹泵的漏气阀垫圈交换（中文）.ppt
http://148477.site.jgz.la/file.php?accessoryId=832212
真空阀门L型气动式气缸说明.ppt
http://148477.site.jgz.la/file.php?accessoryId=832217
扩散泵大修顺序（中文）.ppt
http://148477.site.jgz.la/file.php?accessoryId=832219

第二部分：日本电子电子枪，新柯隆离子源
离子源说明书
http://148477.site.jgz.la/file.php?accessoryId=832817
电子枪60060说明书
http://148477.site.jgz.la/file.php?accessoryId=832816
新柯隆离子源讲义
http://148477.site.jgz.la/file.php?accessoryId=832818

占坑，第三部分真空计，水晶仪，光控（未传）

占坑，第四部分系统说明书，设备初始设定表，设备互锁表，维护保养资料（未上传）